在重慶工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院，一支團(tuán)隊(duì)正在為我國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展而努力。

在半導(dǎo)體晶圓的加工工藝中，對(duì)晶圓邊緣進(jìn)行倒角處理，可以防止晶圓邊緣破裂及晶格缺陷產(chǎn)生，可使后續(xù)工序加工的合格率大幅提高。

我國(guó)半導(dǎo)體材料加工廠大多使用日本生產(chǎn)的倒角機(jī)。但設(shè)備售價(jià)高昂、維修升級(jí)成本高等問題也日益顯現(xiàn)。2020年，重慶某龍頭半導(dǎo)體企業(yè)找到重慶工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院，尋求開展校企合作，希望共同針對(duì)生產(chǎn)線上緊缺的12英寸晶圓倒角機(jī)進(jìn)行研發(fā)制造。

合作過程中，雙方將企業(yè)項(xiàng)目導(dǎo)向的工作模式與職業(yè)院校的技術(shù)研發(fā)有機(jī)結(jié)合起來，組建了由教師、學(xué)生、企業(yè)技術(shù)人員共同構(gòu)成的研發(fā)團(tuán)隊(duì)。團(tuán)隊(duì)成員具有機(jī)械、電氣等相關(guān)專業(yè)背景和從業(yè)經(jīng)驗(yàn)，形成了跨專業(yè)、跨院系、跨領(lǐng)域的混編創(chuàng)新隊(duì)伍。他們探索形成了產(chǎn)學(xué)研跨界的技術(shù)研發(fā)機(jī)制，建立了項(xiàng)目研發(fā)標(biāo)準(zhǔn)化管理流程，創(chuàng)新性地打造了完整的產(chǎn)學(xué)研創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)建設(shè)方案與評(píng)估體系，提出了標(biāo)準(zhǔn)化項(xiàng)目研發(fā)步驟，建立了產(chǎn)學(xué)研三位一體實(shí)踐教學(xué)基地，推動(dòng)產(chǎn)教融合、科教融匯。

對(duì)國(guó)外晶圓倒角機(jī)開展分析、研究，以晶圓倒角機(jī)各運(yùn)動(dòng)單元的機(jī)械結(jié)構(gòu)及運(yùn)動(dòng)控制算法作為突破點(diǎn)，確定指導(dǎo)思想和技術(shù)路線，進(jìn)行晶圓加工工藝和控制系統(tǒng)研究，開發(fā)晶圓倒角機(jī)控制軟件……經(jīng)過兩年多的努力，團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人劉蒙恩博士帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)攻克了晶圓倒角機(jī)運(yùn)動(dòng)控制算法，研發(fā)了0.001毫米高精度機(jī)械裝配工藝，完成了晶圓倒角機(jī)控制軟件、晶圓倒角機(jī)20萬轉(zhuǎn)電驅(qū)主軸技術(shù)，試制了晶圓倒角機(jī)原型機(jī)。“面對(duì)困難不退縮，面對(duì)挫折不氣餒，發(fā)揚(yáng)釘釘子精神，一錘接著一錘敲，一項(xiàng)接著一項(xiàng)干。” 回憶起研發(fā)過程，劉蒙恩說。

團(tuán)隊(duì)研發(fā)出的倒角機(jī)，是生產(chǎn)鏈中的關(guān)鍵設(shè)備，直接關(guān)系到晶圓下游加工和產(chǎn)品的質(zhì)量。經(jīng)相關(guān)企業(yè)組織專家評(píng)審鑒定，該設(shè)備加工精度和速度都優(yōu)于日本同類設(shè)備。

目前，團(tuán)隊(duì)與國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)簽訂12套倒角機(jī)700萬技術(shù)研發(fā)合同，取得了5項(xiàng)實(shí)用新型發(fā)明專利，“半導(dǎo)體行星片的倒角機(jī)裝備研發(fā)”項(xiàng)目獲推第七屆全國(guó)職工優(yōu)秀技術(shù)創(chuàng)新成果。

這一設(shè)備的誕生，不僅解決了半導(dǎo)體企業(yè)的燃眉之急，還填補(bǔ)了我國(guó)在半導(dǎo)體高精度裝備領(lǐng)域的空白。把企業(yè)需求作為深化校企合作的突破口，聚焦“國(guó)之大者”，攻克核心技術(shù)難題，職業(yè)院校在創(chuàng)新路上，同樣腳步鏗鏘。

（記者 張蓋倫）

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